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昨日台北故宫博物院突发停电闭馆

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电压暂降0.1秒

影响台湾三大芯片厂

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—看不见的断电—

我们来说一说这场看不见的“断电”——新竹跳电。据报道，9月18日下午台湾地区新竹科学园区发生大规模电网电压暂降。起因是园区内力积电厂的主变压器跳脱故障，导致园区内电网发生0.101S电压暂降，压降幅度介于79%至95%之间。该跳电事故影响了新竹科学园区内力积电、台积电、世界先进、友达光电等等大厂生产都受影响，受创产业涵盖半导体、光电两大领域。

力积电回应，压降时间相当短暂，仅0.101秒，部分较敏感的生产机台出现跳电停机。台积电声明，其部分厂区受到电力压降影响，历时约50到100多毫秒不等。友达光电透露，压降意外导致厂区部分机台工作异常……

电压暂降0.1秒

晶圆厂如坐针毡

— 0.1秒影响有多大？ —

灯都没闪一下，感知不到的0.1秒电压暂降，却让承载芯片的晶圆厂如坐针毡，这是为什么呢？

电压暂降一般由电网、变电设施故障或负荷突变引起。短路、雷击、开关操作、变压器和电容器投切、大功率感应电机启动等都可能造成电压暂降。这类电力事故影响就如同在池塘里投入石头，会漾起一圈圈涟漪，越是接近石头落水处的区域，压降幅度越大。

半导体制造工厂需要消耗大量电能来支持其设施运行保证制造持续进行。大型工厂每小时消耗高达100MW.h电能，相当于一个普通家庭17年左右的耗电量，超过了许多炼油厂和汽车制造厂的耗电量。从原材料到成品芯片制造完成通常需要85天，包括多达300项独立操作流程。用于完成这些步骤的设备包括离子注入机、光刻机、沉积系统、氧化炉、蚀刻机等。每项精密半导体的制造过程都需要优质可靠的电源保证。

任何电力供应问题，如停电或电压骤降都可能中断操作，导致大量半导体产品报废。虽然部分敏感机台配有UPS电源，能够全面保证免受电网故障影响，但由于UPS设备工作在双变换模式电能损耗较大，所有设备全部由UPS供电显然不合理，不仅投入大，而且电能损耗较大。且薄膜、扩散、蚀刻区（晶圆）多未配置电源保护设备，对电压极其敏感，每次电压暂降都可能导致设备损坏、晶圆报废。